西人马荣获中国半导体MEMS十强企业荣誉,参展第十二届纳博会

发布时间:2022年06月14日
       △博士Averie(左四)代表西人马领奖。
       这是对西人马多年来在MEMS传感器领域取得的成绩的认可和赞誉。西人马将再接再厉, 继续推动中国MEMS传感器技术的发展和进步。本届纳米博览会由科技部、中国科学院指导, 中国微米纳米技术学会、中国国际科技合作协会承办。平方米, 吸引了1600多家科技公司、科研机构、行业协会。展会为期3天, 期间将发布10篇专业报告和258篇行业报告。西人马非常重视参与本届苏州纳米博览会的各项活动。为此特地搭建了一个面积为36平方米的展台, 全面展示西人马的芯片和传感器产品, 并向参展商和客户详细介绍。西部半人马公司。 △西人马的展位聚集了众多前来咨询参观的客户。西人马具有深厚的科研实力。西人马拥有近1000名员工, 其中科研人员占60%以上,

其中95%以上拥有硕士和博士学位。公司拥有500多项专利, 年增长率超过30%, 此外还有近300套作业指导书和标准操作指南。西人马遵循现行国际标准“航空AS9100D”和“医疗ISO13485”, 拥有ISO/IEC17025资质实验室并获得CNAS认证。西人马所有校准人员均经过ISO17025培训合格。 △西人马通过的国际标准认证。
       西人马一直致力于制造先进的MEMS芯片和传感器。拥有高端MEMS传感器和芯片制造基地, 包括各种先进的MEMS芯片、功能材料芯片和传感器封装测试设备。客户主要专注于能源、民航、轨道交通、精密仪器、工业自动化、物联网等领域, 为全球客户提供MEMS芯片的OEM和ODM服务。经过多年的发展, 西人马已成为业内知名的IDM芯片公司和端-边-云一体化解决方案服务商, 在芯片和传感器材料合成、设计、制造、封装和测试等方面拥有全面的能力。芯片方面, 西人马开发了压力系列、红外系列、陀螺仪系列、电荷放大器系列芯片。其中, 压力芯片和红外热电堆芯片以其灵敏度高、响应速度快、测量范围广等特点在业界备受好评。 △西人马展出的红外热电堆芯片 西人马的传感器产品包括加速度、压力、位移、油质、陀螺仪等。其中, 压电加速度计AYDV/AYDC等系列目前广泛应用于飞机发动机、风力涡轮机、智能钢厂等行业的振动监测系统。该系列传感器具有优良的频响特性和高信噪比, 体积小、重量轻、温漂低, 可应用于高端轴承、机翼和转子的监测可以大大降低对被测系统的影响。西人马的边缘计算是通过自主设计的软硬件平台实现的, 依托强大的数据采集能力和AI算法能力, 可以满足不同行业或应用场景的自检、故障检测、隔离和恢复机制的需求。需要。 Tas Cloud是西人马结合机器神经系统打造的现代数据密集型应用平台。基于数据融合, 支持多种算法, 可提供一站式云计算、人工智能、计算集成、全数据安全。自助式敏捷开发服务完美适用于冲击脉冲分析、能谱分析、人脸识别、行为分析、故障检测等场景。 △西人马Matas云平台接口具备硅基芯片和非硅基芯片的设计、制造、封装和测试的全方位能力。基于这些先进的核心技术, 西人马可以单独为客户提供优质的芯片, 也可以提供相应的模块和解决方案, 利用西人马先进的传感器、边缘计算产品和云工具开发套件, 帮助客户快速构建具有监控和监控功能的AIoT系统。控制功能。先进的MEMS工艺技术和质量控制西人马在展会上展出了MCU芯片、AISoC芯片、压力芯片、加速度传感器、压力传感器、润滑油质量传感器和光学/红外传感器。其中, 基于MEMS技术开发的各类传感器都是西人马展示和推广的产品。 △西部半人马此次展出的西人马压阻式压力传感器MEMS芯片及传感器生产线车间配备了8英寸向下兼容的6英寸MEMS智能传感器芯片生产线和MEMS器件加工平台。拥有6000平方米的高档洁净车间, 拥有深硅刻蚀、键合、光刻、原子力显微镜、扫描电镜等先进的制造、封装和测试设备, 具备综合量产能力。例如, 在MEMS芯片制造过程中, 西人马采用专业的刻蚀机, 使用电感耦合等离子体(ICP)来实现刻蚀。钝化沉积和刻蚀交替进行, 快速形成垂直侧壁, 具有高选择性和高刻蚀率的优点。 △ 西人马先进的刻蚀机 此外, 西人马的光刻技术也处于比较先进的水平。西人马引进了ASML光刻机和日本自动涂胶机和开发商。光刻机通过曝光涂层晶圆将掩模上的图案转移到晶圆表面。最后, 显影后, 在Wafer表面形成最终图案。自动涂胶机的作用是将光刻胶均匀地涂在晶圆表面,

便于后续的曝光和显影。西人马利用扫描电子显微镜(SEM)对MEMS器件关键工艺的微观形貌进行测试和分析, 从而实现SEM对MEMS的有效测量和工艺验证。原子力显微镜(AFM)利用微悬臂梁系统和放大臂上的小探针与被测物体之间的原子相互作用进行检测。分辨率可以达到原子级。西人马非常重视质量控制。以MEMS压阻式压力传感器为例, 通过高精度压力源和高精度直流电源, 可以测量产品在不同压力源下的各种特性, 包括传感器的灵敏度、零输出、满规模输出。此外, 还可以计算传感器的线性度、迟滞和重复性, 最终得到传感器的综合精度。目前西人马压力传感器综合精度可达0.05%, 已达到国际标准。如果您想进一步了解西人马或寻找合作商机, 请于10月27日至29日莅临苏州国际博览中心B馆T27展位。西人马期待您的光临。